Fotolack-Übersicht
Fotolack, auch als Fotoresist bekannt, bezeichnet ein Dünnschichtmaterial, dessen Löslichkeit sich bei Einwirkung von UV-Licht, Elektronenstrahlen, Ionenstrahlen, Röntgenstrahlen oder anderer Strahlung verändert.
Es besteht aus einem Harz, einem Fotoinitiator, einem Lösungsmittel, einem Monomer und weiteren Additiven (siehe Tabelle 1). Fotolackharz und Fotoinitiator sind die wichtigsten Komponenten, die die Leistung des Fotolacks beeinflussen. Er wird während des Fotolithografieprozesses als Korrosionsschutzbeschichtung eingesetzt.
Bei der Bearbeitung von Halbleiteroberflächen kann durch die Verwendung eines geeignet selektiven Fotolacks das gewünschte Bild auf der Oberfläche erzeugt werden.
Tabelle 1.
| Inhaltsstoffe des Fotolacks | Leistung |
| Lösungsmittel | Es macht den Fotolack flüssig und flüchtig und hat fast keinen Einfluss auf die chemischen Eigenschaften des Fotolacks. |
| Photoinitiator | Es wird auch als Photosensibilisator oder Fotohärtungsmittel bezeichnet und ist die lichtempfindliche Komponente im Fotolackmaterial. Es handelt sich um eine Verbindung, die sich nach Absorption von ultraviolettem oder sichtbarem Licht einer bestimmten Wellenlänge in freie Radikale oder Kationen zersetzen und chemische Vernetzungsreaktionen in Monomeren auslösen kann. |
| Harz | Es handelt sich um inerte Polymere, die als Bindemittel fungieren, um die verschiedenen Materialien in einem Fotolack zusammenzuhalten und dem Fotolack seine mechanischen und chemischen Eigenschaften zu verleihen. |
| Monomer | Es handelt sich dabei auch um aktive Verdünnungsmittel, kleine Moleküle mit polymerisierbaren funktionellen Gruppen und niedermolekulare Verbindungen, die an Polymerisationsreaktionen teilnehmen und so hochmolekulare Harze bilden können. |
| Zusatzstoff | Es dient zur Steuerung der spezifischen chemischen Eigenschaften von Fotolacken. |
Fotolacke werden anhand des erzeugten Bildes in zwei Hauptkategorien eingeteilt: positive und negative. Beim Fotolackprozess lösen sich nach Belichtung und Entwicklung die belichteten Bereiche der Beschichtung auf, während die unbelichteten Bereiche zurückbleiben. Diese Beschichtung gilt als positiver Fotolack. Bleiben die belichteten Bereiche erhalten, während sich die unbelichteten auflösen, spricht man von einem negativen Fotolack. Je nach Belichtungslicht- und Strahlungsquelle werden Fotolacke weiter unterteilt in UV-Fotolacke (einschließlich positiver und negativer UV-Fotolacke), Tief-UV-Fotolacke (DUV), Röntgen-Fotolacke, Elektronenstrahl-Fotolacke und Ionenstrahl-Fotolacke.
Fotolack wird hauptsächlich zur Herstellung feinkörniger Strukturen in Displaypanels, integrierten Schaltungen und diskreten Halbleiterbauelementen verwendet. Die Herstellungstechnologie von Fotolack ist komplex und umfasst eine Vielzahl von Produkttypen und Spezifikationen. Die Fertigung integrierter Schaltungen in der Elektronikindustrie stellt hohe Anforderungen an den verwendeten Fotolack.
Ever Ray, ein Hersteller mit 20 Jahren Erfahrung in der Produktion und Entwicklung von lichthärtenden Harzen, verfügt über eine jährliche Produktionskapazität von 20.000 Tonnen, ein umfassendes Produktsortiment und die Möglichkeit zur kundenspezifischen Fertigung. Hauptbestandteil der Fotolacke von Ever Ray ist das Harz 17501.
